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四（甲乙胺）鋯
關(guān)鍵詞：
關(guān)鍵詞：
MO源領(lǐng)域、電子級碘甲烷和氫碘酸領(lǐng)域、高科技合成酸領(lǐng)域、多元醇酯類冷凍機油領(lǐng)域
所屬分類：
產(chǎn)品描述
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中文名 |
化學(xué)式 |
CAS號 |
英文簡稱 |
英文名 |
類別 |
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四（甲乙胺）鋯 |
C12H32N4Zr |
175923-04-3 |
TEMAZ |
Tetrakis(ethylmethylamino)zirconium |
前驅(qū)體 |
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四（甲乙胺）鋯（TEMAZ） |
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化學(xué)式 |
C12H32N4Zr |
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中文名稱 |
四（甲乙胺）鋯 |
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英文名稱 |
Tetrakis(ethylmethylamino)zirconium |
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CAS No. |
175923-04-3 |
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分子量 |
323.63 |
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應(yīng)用 |
主要用于CVD、ALD、等離子體增強原子層沉積(PEALD)工藝，是生產(chǎn)ZrO2的前驅(qū)體。 ZrO2在45nm晶體管的制備中代替二氧化硅，可以顯著減少漏電量，還是COMS和動態(tài)存儲（DRAM）的高k絕緣材料，是目前解決動態(tài)存儲和高清顯示技術(shù)難題的最優(yōu)選材料之一；可作阻變存儲器的介質(zhì)層前驅(qū)體；可作鋰離子電池正極包覆沉積前驅(qū)體。 |
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產(chǎn)品規(guī)格 |
6N（99.9999%） |
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